MCV – Regolatore di portata massico per vuoto, Alicat

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  • Campi disponibili : max 0-20 slpm, min 0-0.5 sccm/0-500 sμlm
  • Range di regolazione: 0.01% – 100% F.S.
  • Precisione Standard, riferibile NIST: +/- (0.6% V.L.  sulla maggio parte dei modelli)
  • Opzionale calibrazione alta precisione, riferibile NIST: +/- (0.5% V.L su maggior parte dei modelli)
  • Ripetibilità: +/- 0.1% V.L. + 0.02% F.S.
  • Tempo di risposta (tipico) : 50-100 ms (fino a 25 ms con tuning del  PID)
  • Integrità perdita pneumatica della valvola (solo MCV): 1 x 10-9 atm scc/sec max con Elio
  • Nessun tempo di preriscaldamento richiesto
Regolatore massico per vuoto

Dettagli Prodotto

La serie di regolatori MCV Alicat comprende valvola di shut-off per prevenire contaminazione durante la fase di zero. Max portata 20 SL/MIN.

Aggiorna il tuo impianto di deposizione sotto vuoto con  state-of-the-art Alicat MCE o  MCV. Il regolatore MCE ha le stesse specifiche di alta velocità di risposta dei regolatori standard  ma è fornito con connessioni al processo saldate da 1/4″ VCR .

Il modello  MCV e MCE sono dotati  di valvola pneumatica di chiusura per applicazioni in vuoto spinto . Collegare linea aria compressa alla valvola pneumatica di chisura in caso di setpoint a zero

  • Versatile. Controlla la pressione mentre regola la portata , si puo' selezionare altro gas dalla lista di gas disponibili o definire la propria miscela di gas con il  COMPOSER™.
  • Connesso. Facilmente integrabile nel Vs. network  con i seguenti protocolli  EtherNet/IP, EtherCAT, DeviceNet, Profibus, Modbus (RTU e TCP/IP) o comunicazione seriale .
  • Duraturo. Supportato da ricalibrazione annuale e da garanzia a vita limitata,  un regolatore Alicat è in grado di mantenere in funzione la Vs applicazione di processo per anni anche in applicazioni gravose.

Condizioni operative:

  • Gas compatibli: 98(MCE/MCV) o 130 (MCES/MCVS) pre-caricati e selezionabili, ulteriori miscele programmabili con il "COMPOSER
  • Temperatura : -10 /+ 60° C
  • Max pressione statica:  145 psig (160 psia) / 10 bar g
  • Pressione di prova : 175 psig (190 psia) / 12 bar
  • STP/NTP: selezionabili dall'utente  (default:  25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)
Scheda Tecnica



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